对于体积小、放气速率和漏气速率都小的被检件可直接与检漏仪的外接法兰连接进行检漏，不需要真空系统。对于漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连接时，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。要在此种情况下进行检漏，只有调节节流阀，使之稍稍开启，但这又会使反应时间延长。此外，被检件初次抽真空时，其中的水气、油蒸气等都可能污染检漏仪，因此也需要有真空系统。

       真空系统由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散泵或罗茨泵(是否需要次级泵视具体情况而定)，前缀泵还是用气镇式机械泵比较好。

       有些检漏仪本身带有一系列阀门，借助于这些阀门便可用检漏仪的抽气系统对小型的、放气与漏气也不大的被检件完成预抽和检漏工作，而不需另加真空系统。但是，从保持检漏仪灵敏度的稳定性的观点来看，还是不要用仪器本身的真空泵进行预抽比较好。些检漏仪附有一个真空系统，使用时较为方便。