根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为哪几类?
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,它是用各种方法在某一封闭空间中完善、产生和维持真空的装置。
按
真空泵的工作原理,它基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。它广为应用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类:
(1)一般水泵,压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为"粗"真空。
(2)油泵,压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为"次高"真空。
(3)扩散泵,压强可达0.133Pa以下,(10-3mmHg)为"高"真空。