应用范围
       泵从大气压力下开始抽气，将被抽气体直接排到大气中，泵腔内无油和其他工作介质，泵的极限压力与油封式真空泵接近。
       低压化学气相沉积中多晶硅制备工艺，半导体刻蚀工艺，化学工业、医药工业、食品工业的蒸馏、干燥、脱泡、包装，防止有机溶剂造成污染。

性能特点
       对物品及环境没有污染，使用真空、排气场合不含油分
       维护方便，使用特殊自润滑碳素滑片
       耐磨性强、无油泵、噪音低、寿命长
       调节方便、有真空压力表及调节阀
       吸排气稳定，多枚滑片高速回转
       振动小、空气波动小、吸排气稳定